全球与中国大气传输系统（EFEM）市场发展规模与运营模式分析报告2026年版

全球与中国大气传输系统（EFEM）市场发展规模与运营模式分析报告2026年版

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报告目录

1 大气传输系统（EFEM）市场概述1

    1.1 产品定义及统计范围1

    1.2 按照不同产品类型，EFEM主要可以分为如下几个类别2

        1.2.1 全球不同产品类型EFEM销售额增长趋势2020 VS 2024 VS 20312

        1.2.2 2工位EFEM3

        1.2.3 3工位EFEM4

        1.2.4 4工位EFEM4

        1.2.5 其他类型（1工位EFEM、定制EFEM等）4

    1.3 从不同应用，EFEM主要包括如下几个方面5

        1.3.1 全球不同应用EFEM销售额增长趋势2020 VS 2024 VS 20315

        1.3.2 蚀刻机7

        1.3.3 薄膜沉积设备8

        1.3.4 半导体量检测设备10

        1.3.5 涂胶显影11

        1.3.6 光刻机13

        1.3.7 清洗设备13

        1.3.8 离子注入设备14

        1.3.9 CMP设备15

        1.3.10 先进封装16

        1.3.11 其他设备17

    1.4 EFEM行业背景、发展历史、现状及趋势19

        1.4.1 EFEM行业目前现状分析19

        1.4.2 EFEM发展趋势20

    1.5 半导体行业整体情况分析21

        1.5.1 半导体设备市场规模22

        1.5.2 半导体制造环节26

2 全球EFEM总体规模分析28

    2.1 全球EFEM供需现状及预测（2020-2031）28

        2.1.1 全球EFEM产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）28

        2.1.2 全球EFEM产量、需求量及发展趋势（2020-2031）28

    2.2 全球主要地区EFEM产量及发展趋势（2020-2031）29

        2.2.1 全球主要地区EFEM产量（2020-2025）30

        2.2.2 全球主要地区EFEM产量（2026-2031）30

        2.2.3 全球主要地区EFEM产量市场份额（2020-2031）30

    2.3 中国EFEM供需现状及预测（2020-2031）32

        2.3.1 中国EFEM产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）32

        2.3.2 中国EFEM产量、市场需求量及发展趋势（2020-2031）32

    2.4 全球EFEM销量及销售额33

        2.4.1 全球市场EFEM销售额（2020-2031）33

        2.4.2 全球市场EFEM销量（2020-2031）34

        2.4.3 全球市场EFEM价格趋势（2020-2031）34

3 全球与中国主要厂商市场份额分析35

    3.1 全球市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）35

        3.1.1 全球市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）35

        3.1.2 全球市场主要厂商EFEM销售收入（2020-2025）38

        3.1.3 全球市场主要厂商EFEM销售价格（2020-2025）41

        3.1.4 2024年全球主要生产商EFEM收入排名43

    3.2 中国市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）44

        3.2.1 中国市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）44

        3.2.2 中国市场主要厂商EFEM销售收入（2020-2025）45

    3.3 全球主要厂商EFEM总部及产地分布46

    3.4 全球主要厂商成立时间47

    3.5 全球主要厂商EFEM产品类型及应用48

    3.6 EFEM行业集中度、竞争程度分析50

        3.6.1 EFEM行业集中度分析：2024年全球Top 5生产商市场份额50

        3.6.2 全球EFEM第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额50

    3.7 新增投资及市场并购活动51

4 全球EFEM主要地区分析53

    4.1 全球主要地区EFEM市场规模分析：2020 VS 2024 VS 203153

        4.1.1 全球主要地区EFEM销售收入及市场份额（2020-2025年）54

        4.1.2 全球主要地区EFEM销售收入预测（2026-2031年）55

    4.2 全球主要地区EFEM销量分析：2020 VS 2024 VS 203156

        4.2.1 全球主要地区EFEM销量及市场份额（2020-2025年）56

        4.2.2 全球主要地区EFEM销量及市场份额预测（2026-2031）57

    4.3 北美市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）58

    4.4 欧洲市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）59

    4.5 中国市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）60

    4.6 日本市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）61

    4.7 东南亚市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）62

    4.8 韩国市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）63

    4.9 中国台湾市场EFEM销量、收入及增长率（2020-2031）64

5 全球主要生产商分析65

    5.1 RORZE乐孜芯创65

        5.1.1 RORZE乐孜芯创基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位65

        5.1.2 RORZE乐孜芯创 EFEM产品规格、参数及市场应用65

        5.1.3 RORZE乐孜芯创 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）67

        5.1.4 RORZE乐孜芯创公司简介及主要业务68

        5.1.5 RORZE乐孜芯创企业Zui新动态68

    5.2 DAIHEN Corporation68

        5.2.1 DAIHEN Corporation基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位68

        5.2.2 DAIHEN Corporation EFEM产品规格、参数及市场应用69

        5.2.3 DAIHEN Corporation EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）71

        5.2.4 DAIHEN Corporation公司简介及主要业务71

        5.2.5 DAIHEN Corporation企业Zui新动态71

    5.3 平田機工株式会社Hirata Corporation72

        5.3.1 平田機工株式会社基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位72

        5.3.2 平田機工株式会社 EFEM产品规格、参数及市场应用72

        5.3.3 平田機工株式会社 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）74

        5.3.4 平田機工株式会社公司简介及主要业务74

        5.3.5 平田機工株式会社企业Zui新动态82

    5.4 昕芙旎雅株式会社Sinfonia Technology82

        5.4.1 昕芙旎雅株式会社基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位83

        5.4.2 昕芙旎雅株式会社 EFEM产品规格、参数及市场应用83

        5.4.3 昕芙旎雅株式会社 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）84

        5.4.4 昕芙旎雅株式会社公司简介及主要业务84

    5.5 电产三协（Nidec Sankyo）85

        5.5.1 电产三协（Nidec Sankyo）基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位85

        5.5.2 电产三协（Nidec Sankyo） EFEM产品规格、参数及市场应用86

        5.5.3 电产三协（Nidec Sankyo） EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）88

        5.5.4 电产三协（Nidec Sankyo）公司简介及主要业务88

        5.5.5 电产三协（Nidec Sankyo）企业Zui新动态89

    5.6 Cymechs Inc89

        5.6.1 Cymechs Inc基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位89

        5.6.2 Cymechs Inc EFEM产品规格、参数及市场应用90

        5.6.3 Cymechs Inc EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）91

        5.6.4 Cymechs Inc公司简介及主要业务91

    5.7 Robostar92

        5.7.1 Robostar基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位92

        5.7.2 Robostar EFEM产品规格、参数及市场应用92

        5.7.3 Robostar EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）93

        5.7.4 Robostar公司简介及主要业务93

        5.7.5 Robostar企业Zui新动态94

    5.8 Robots and Design (RND)94

        5.8.1 Robots and Design (RND)基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位94

        5.8.2 Robots and Design (RND) EFEM产品规格、参数及市场应用94

        5.8.3 Robots and Design (RND) EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）95

        5.8.4 Robots and Design (RND)公司简介及主要业务95

    5.9 RAONTEC Inc95

        5.9.1 RAONTEC Inc基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位96

        5.9.2 RAONTEC Inc EFEM产品规格、参数及市场应用96

        5.9.3 RAONTEC Inc EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）97

        5.9.4 RAONTEC Inc公司简介及主要业务97

    5.10 KORO97

        5.10.1 KORO基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位98

        5.10.2 KORO EFEM产品规格、参数及市场应用98

        5.10.3 KORO EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）99

        5.10.4 KORO公司简介及主要业务99

    5.11 布鲁克斯100

        5.11.1 布鲁克斯基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位100

        5.11.2 布鲁克斯 EFEM产品规格、参数及市场应用101

        5.11.3 布鲁克斯 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）101

        5.11.4 布鲁克斯公司简介及主要业务101

        5.11.5 布鲁克斯企业Zui新动态102

    5.12 Kensington Laboratories102

        5.12.1 Kensington Laboratories基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位103

        5.12.2 Kensington Laboratories EFEM产品规格、参数及市场应用103

        5.12.3 Kensington Laboratories EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）104

        5.12.4 Kensington Laboratories公司简介及主要业务104

    5.13 Milara Incorporated104

        5.13.1 Milara Incorporated基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位104

        5.13.2 Milara Incorporated EFEM产品规格、参数及市场应用105

        5.13.3 Milara Incorporated EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）107

        5.13.4 Milara Incorporated公司简介及主要业务107

    5.14 Mindox Techno107

        5.14.1 Mindox Techno基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位107

        5.14.2 Mindox Techno EFEM产品规格、参数及市场应用108

        5.14.3 Mindox Techno EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）109

        5.14.4 Mindox Techno公司简介及主要业务109

    5.15 PHT Inc.109

        5.15.1 PHT Inc.基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位109

        5.15.2 PHT Inc. EFEM产品规格、参数及市场应用110

        5.15.3 PHT Inc. EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）111

        5.15.4 PHT Inc.公司简介及主要业务111

        5.15.5 PHT Inc.企业Zui新动态112

    5.16 SK Enpulse113

        5.16.1 SK Enpulse基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位113

        5.16.2 SK Enpulse EFEM产品规格、参数及市场应用113

        5.16.3 SK Enpulse EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）114

        5.16.4 SK Enpulse公司简介及主要业务114

    5.17 三和技研115

        5.17.1 三和技研基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位115

        5.17.2 三和技研 EFEM产品规格、参数及市场应用115

        5.17.3 三和技研 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）116

        5.17.4 三和技研公司简介及主要业务116

        5.17.5 三和技研企业Zui新动态117

    5.18 上银科技股份有限公司117

        5.18.1 上银科技股份有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位117

        5.18.2 上银科技股份有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用118

        5.18.3 上银科技股份有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）119

        5.18.4 上银科技股份有限公司公司简介及主要业务119

    5.19 新松机器人120

        5.19.1 新松机器人基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位120

        5.19.2 新松机器人 EFEM产品规格、参数及市场应用121

        5.19.3 新松机器人 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）122

        5.19.4 新松机器人公司简介及主要业务122

        5.19.5 新松机器人企业Zui新动态123

    5.20 北京华卓精科科技股份有限公司124

        5.20.1 北京华卓精科科技股份有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位125

        5.20.2 北京华卓精科科技股份有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用125

        5.20.3 北京华卓精科科技股份有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）126

        5.20.4 北京华卓精科科技股份有限公司公司简介及主要业务126

    5.21 上海果纳半导体技术有限公司126

        5.21.1 上海果纳半导体技术有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位127

        5.21.2 上海果纳半导体技术有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用127

        5.21.3 上海果纳半导体技术有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）133

        5.21.4 上海果纳半导体技术有限公司公司简介及主要业务134

        5.21.5 上海果纳半导体技术有限公司企业Zui新动态134

    5.22 上海大族富创得科技有限公司135

        5.22.1 上海大族富创得科技有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位135

        5.22.2 上海大族富创得科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用135

        5.22.3 上海大族富创得科技有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）136

        5.22.4 上海大族富创得科技有限公司公司简介及主要业务137

    5.23 上海微松工业自动化有限公司137

        5.23.1 上海微松工业自动化有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位138

        5.23.2 上海微松工业自动化有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用138

        5.23.3 上海微松工业自动化有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）139

        5.23.4 上海微松工业自动化有限公司公司简介及主要业务139

    5.24 上海广川科技有限公司139

        5.24.1 上海广川科技有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位140

        5.24.2 上海广川科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用140

        5.24.3 上海广川科技有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）141

        5.24.4 上海广川科技有限公司公司简介及主要业务141

    5.25 泓浒（苏州）半导体科技有限公司143

        5.25.1 泓浒（苏州）半导体科技有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位143

        5.25.2 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用143

        5.25.3 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）144

        5.25.4 泓浒（苏州）半导体科技有限公司公司简介及主要业务144

    5.26 苏州芯慧联半导体科技有限公司145

        5.26.1 苏州芯慧联半导体科技有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位145

        5.26.2 苏州芯慧联半导体科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用145

        5.26.3 苏州芯慧联半导体科技有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）146

        5.26.4 苏州芯慧联半导体科技有限公司公司简介及主要业务146

    5.27 无锡星微科技有限公司147

        5.27.1 无锡星微科技有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位147

        5.27.2 无锡星微科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用147

        5.27.3 无锡星微科技有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）149

        5.27.4 无锡星微科技有限公司公司简介及主要业务150

    5.28 华芯（嘉兴）智能装备有限公司150

        5.28.1 华芯（嘉兴）智能装备有限公司基本信息、EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位150

        5.28.2 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用151

        5.28.3 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 EFEM销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）151

        5.28.4 华芯（嘉兴）智能装备有限公司公司简介及主要业务152

6 不同产品类型EFEM分析153

    6.1 全球不同产品类型EFEM销量（2020-2031）153

        6.1.1 全球不同产品类型EFEM销量及市场份额（2020-2025）153

        6.1.2 全球不同产品类型EFEM销量预测（2026-2031）153

    6.2 全球不同产品类型EFEM收入（2020-2031）154

        6.2.1 全球不同产品类型EFEM收入及市场份额（2020-2025）154

        6.2.2 全球不同产品类型EFEM收入预测（2026-2031）154

    6.3 全球不同产品类型EFEM价格走势（2020-2031）155

7 不同应用EFEM分析156

    7.1 全球不同应用EFEM销量（2020-2031）156

        7.1.1 全球不同应用EFEM销量及市场份额（2020-2025）156

        7.1.2 全球不同应用EFEM销量预测（2026-2031）157

    7.2 全球不同应用EFEM收入（2020-2031）158

        7.2.1 全球不同应用EFEM收入及市场份额（2020-2025）158

        7.2.2 全球不同应用EFEM收入预测（2026-2031）159

    7.3 全球不同应用EFEM价格走势（2020-2031）160

8 上游原料及下游市场分析161

    8.1 EFEM产业链分析161

    8.2 EFEM产业上游供应分析161

        8.2.1 上游原料供给状况161

        8.2.2 原料供应商及

    8.3 EFEM下游典型客户163

        8.3.1 EFEM-主机台客户163

        8.3.2 EFEM- FAB客户165

    8.4 EFEM销售渠道分析166

9 行业发展机遇和风险分析167

    9.1 EFEM行业发展机遇及主要驱动因素167

    9.2 EFEM行业发展面临的风险169

    9.3 EFEM行业政策分析172

        9.3.1 行业主管部门及监管体制172

        9.3.2 行业相关政策172

    9.4 EFEM中国企业SWOT分析175

10 研究成果及177

11 附录179

    11.1 研究方法179

    11.2 数据来源179

        11.2.1 二手信息来源179

        11.2.2 一手信息来源180

    11.3 数据交互验证180

标题报告图表

表 1： 全球不同产品类型EFEM销售额增长（CAGR）趋势2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）2

表 2： 全球不同应用销售额增速（CAGR）2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）5

表 3： EFEM行业目前发展现状19

表 4： EFEM发展趋势20

表 5： 进入EFEM行业壁垒20

表 6： 全球主要地区EFEM产量增速（CAGR）：（2020 VS 2024 VS 2031）&（台）29

表 7： 全球主要地区EFEM产量（2020-2025）&（台）30

表 8： 全球主要地区EFEM产量（2026-2031）&（台）30

表 9： 全球主要地区EFEM产量市场份额（2020-2025）30

表 10： 全球主要地区EFEM产量（2026-2031）&（台）31

表 11： 全球市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）&（台）35

表 12： 全球市场主要厂商EFEM销量市场份额（2020-2025）36

表 13： 全球市场主要厂商EFEM销售收入（2020-2025）&（百万美元）38

表 14： 全球市场主要厂商EFEM销售收入市场份额（2020-2025）40

表 15： 全球市场主要厂商EFEM销售价格（2020-2025）&（千美元/台）41

表 16： 2024年全球主要生产商EFEM收入排名（百万美元）43

表 17： 中国市场主要厂商EFEM销量（2020-2025）&（台）44

表 18： 中国市场主要厂商EFEM销量市场份额（2020-2025）44

表 19： 中国市场主要厂商EFEM销售收入（2020-2025）&（百万美元）45

表 20： 中国市场主要厂商EFEM销售收入市场份额（2020-2025）46

表 21： 全球主要厂商EFEM总部及产地分布46

表 22： 全球主要厂商成立时间47

表 23： 全球主要厂商EFEM产品类型及应用48

表 24： 2024年全球EFEM主要厂商市场地位（第一梯队、第二梯队和第三梯队）50

表 25： 全球EFEM市场投资、并购等现状分析51

表 26： 全球主要地区EFEM销售收入增速：（2020 VS 2024 VS 2031）&（百万美元）53

表 27： 全球主要地区EFEM销售收入（2020-2025）&（百万美元）54

表 28： 全球主要地区EFEM销售收入市场份额（2020-2025）54

表 29： 全球主要地区EFEM收入（2026-2031）&（百万美元）55

表 30： 全球主要地区EFEM收入市场份额（2026-2031）55

表 31： 全球主要地区EFEM销量（台）：2020 VS 2024 VS 203156

表 32： 全球主要地区EFEM销量（2020-2025）&（台）56

表 33： 全球主要地区EFEM销量市场份额（2020-2025）57

表 34： 全球主要地区EFEM销量（2026-2031）&（台）57

表 35： 全球主要地区EFEM销量份额（2026-2031）57

表 36： RORZE乐孜芯创 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位65

表 37： RORZE乐孜芯创 EFEM产品规格、参数及市场应用65

表 38： RORZE乐孜芯创 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）67

表 39： RORZE乐孜芯创公司简介及主要业务68

表 40： RORZE乐孜芯创企业Zui新动态68

表 41： DAIHEN Corporation EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位68

表 42： DAIHEN Corporation EFEM产品规格、参数及市场应用69

表 43： DAIHEN Corporation EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）71

表 44： DAIHEN Corporation公司简介及主要业务71

表 45： DAIHEN Corporation企业Zui新动态71

表 46： 平田機工株式会社 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位72

表 47： 平田機工株式会社 EFEM产品规格、参数及市场应用72

表 48： 平田機工株式会社 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）74

表 49： 平田機工株式会社公司简介及主要业务74

表 50： 平田機工株式会社企业Zui新动态82

表 51： 昕芙旎雅株式会社 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位83

表 52： 昕芙旎雅株式会社 EFEM产品规格、参数及市场应用83

表 53： 昕芙旎雅株式会社 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）84

表 54： 昕芙旎雅株式会社公司简介及主要业务84

表 55： 电产三协（Nidec Sankyo） EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位85

表 56： 电产三协（Nidec Sankyo） EFEM产品规格、参数及市场应用86

表 57： 电产三协（Nidec Sankyo） EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）88

表 58： 电产三协（Nidec Sankyo）公司简介及主要业务88

表 59： 电产三协（Nidec Sankyo）企业Zui新动态89

表 60： Cymechs Inc EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位89

表 61： Cymechs Inc EFEM产品规格、参数及市场应用90

表 62： Cymechs Inc EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）91

表 63： Cymechs Inc公司简介及主要业务91

表 64： Robostar EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位92

表 65： Robostar EFEM产品规格、参数及市场应用92

表 66： Robostar EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）93

表 67： Robostar公司简介及主要业务93

表 68： Robostar企业Zui新动态94

表 69： Robots and Design (RND) EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位94

表 70： Robots and Design (RND) EFEM产品规格、参数及市场应用94

表 71： Robots and Design (RND) EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）95

表 72： Robots and Design (RND)公司简介及主要业务95

表 73： RAONTEC Inc EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位96

表 74： RAONTEC Inc EFEM产品规格、参数及市场应用96

表 75： RAONTEC Inc EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）97

表 76： RAONTEC Inc公司简介及主要业务97

表 77： KORO EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位98

表 78： KORO EFEM产品规格、参数及市场应用98

表 79： KORO EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）99

表 80： KORO公司简介及主要业务99

表 81： 布鲁克斯 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位100

表 82： 布鲁克斯 EFEM产品规格、参数及市场应用101

表 83： 布鲁克斯 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）101

表 84： 布鲁克斯公司简介及主要业务101

表 85： 布鲁克斯企业Zui新动态102

表 86： Kensington Laboratories EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位103

表 87： Kensington Laboratories EFEM产品规格、参数及市场应用103

表 88： Kensington Laboratories EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）104

表 89： Kensington Laboratories公司简介及主要业务104

表 90： Milara Incorporated EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位104

表 91： Milara Incorporated EFEM产品规格、参数及市场应用105

表 92： Milara Incorporated EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）107

表 93： Mindox Techno EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位107

表 94： Mindox Techno EFEM产品规格、参数及市场应用108

表 95： Mindox Techno EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）109

表 96： Mindox Techno公司简介及主要业务109

表 97： PHT Inc. EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位109

表 98： PHT Inc. EFEM产品规格、参数及市场应用110

表 99： PHT Inc. EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）111

表 100： PHT Inc.公司简介及主要业务111

表 101： PHT Inc.企业Zui新动态112

表 102： SK Enpulse EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位113

表 103： SK Enpulse EFEM产品规格、参数及市场应用113

表 104： SK Enpulse EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）114

表 105： SK Enpulse公司简介及主要业务114

表 106： 三和技研 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位115

表 107： 三和技研 EFEM产品规格、参数及市场应用115

表 108： 三和技研 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）116

表 109： 三和技研公司简介及主要业务116

表 110： 三和技研企业Zui新动态117

表 111： 上银科技股份有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位117

表 112： 上银科技股份有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用118

表 113： 上银科技股份有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）119

表 114： 上银科技股份有限公司公司简介及主要业务119

表 115： 新松机器人 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位120

表 116： 新松机器人 EFEM产品规格、参数及市场应用121

表 117： 新松机器人 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）122

表 118： 新松机器人公司简介及主要业务122

表 119： 新松机器人企业Zui新动态123

表 120： 北京华卓精科科技股份有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位125

表 121： 北京华卓精科科技股份有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用125

表 122： 北京华卓精科科技股份有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）126

表 123： 北京华卓精科科技股份有限公司公司简介及主要业务126

表 124： 上海果纳半导体技术有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位127

表 125： 上海果纳半导体技术有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用127

表 126： 上海果纳半导体技术有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）133

表 127： 上海果纳半导体技术有限公司公司简介及主要业务134

表 128： 上海果纳半导体技术有限公司企业Zui新动态134

表 129： 上海大族富创得科技有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位135

表 130： 上海大族富创得科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用136

表 131： 上海大族富创得科技有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）136

表 132： 上海大族富创得科技有限公司公司简介及主要业务137

表 133： 上海微松工业自动化有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位138

表 134： 上海微松工业自动化有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用138

表 135： 上海微松工业自动化有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）139

表 136： 上海微松工业自动化有限公司公司简介及主要业务139

表 137： 上海广川科技有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位140

表 138： 上海广川科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用140

表 139： 上海广川科技有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）141

表 140： 上海广川科技有限公司公司简介及主要业务141

表 141： 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位143

表 142： 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用143

表 143： 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）144

表 144： 泓浒（苏州）半导体科技有限公司公司简介及主要业务144

表 145： 苏州芯慧联半导体科技有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位145

表 146： 苏州芯慧联半导体科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用145

表 147： 苏州芯慧联半导体科技有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）146

表 148： 苏州芯慧联半导体科技有限公司公司简介及主要业务146

表 149： 无锡星微科技有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位147

表 150： 无锡星微科技有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用147

表 151： 无锡星微科技有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）149

表 152： 无锡星微科技有限公司公司简介及主要业务150

表 153： 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 EFEM生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位150

表 154： 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 EFEM产品规格、参数及市场应用151

表 155： 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 EFEM销量（台）、收入（百万美元）、价格（千美元/台）及毛利率（2020-2025）151

表 156： 华芯（嘉兴）智能装备有限公司公司简介及主要业务152

表 157： 全球不同产品类型EFEM销量（2020-2025年）&（台）153

表 158： 全球不同产品类型EFEM销量市场份额（2020-2025）153

表 159： 全球不同产品类型EFEM销量预测（2026-2031）&（台）153

表 160： 全球市场不同产品类型EFEM销量市场份额预测（2026-2031）153

表 161： 全球不同产品类型EFEM收入（2020-2025年）&（百万美元）154

表 162： 全球不同产品类型EFEM收入市场份额（2020-2025）154

表 163： 全球不同产品类型EFEM收入预测（2026-2031）&（百万美元）154

表 164： 全球不同产品类型EFEM收入市场份额预测（2026-2031）155

表 165： 全球不同应用EFEM销量（2020-2025年）&（台）156

表 166： 全球不同应用EFEM销量市场份额（2020-2025）156

表 167： 全球不同应用EFEM销量预测（2026-2031）&（台）157

表 168： 全球市场不同应用EFEM销量市场份额预测（2026-2031）157

表 169： 全球不同应用EFEM收入（2020-2025年）&（百万美元）158

表 170： 全球不同应用EFEM收入市场份额（2020-2025）158

表 171： 全球不同应用EFEM收入预测（2026-2031）&（百万美元）159

表 172： 全球不同应用EFEM收入市场份额预测（2026-2031）159

表 173： EFEM上游关键原料供给状况162

表 174： EFEM上游原料供应商及联系方式列表162

表 175： EFEM主机台客户列表163

表 176： EFEM行业发展机遇及主要驱动因素167

表 177： EFEM行业发展面临的风险169

表 178： EFEM中国企业SWOT分析175

表 179： 研究范围179

表 180： 本文分析师列表183

图表目录

图 1： EFEM产品图片1

图 2： 全球不同产品类型EFEM销售额2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）2

图 3： 全球不同产品类型EFEM市场份额2024 & 20313

图 4： 2工位EFEM产品图片3

图 5： 3工位EFEM产品图片4

图 6： 4工位EFEM产品图片4

图 7： 1工位EFEM产品图片5

图 8： 全球不同应用销售额2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）6

图 9： 全球不同应用EFEM市场份额2024 & 20316

图 10： 蚀刻机8

图 11： 薄膜沉积设备9

图 12： 检测设备10

图 13： AOI检测EFEM11

图 14： 涂胶显影12

图 15： 光刻机13

图 16： 清洗设备14

图 17： 离子注入15

图 18： CMP设备16

图 19： 研磨机台EFEM18

图 20： 外延炉EFEM18

图 21： 激光退火设备18

图 22： 晶圆贴膜机19

图 23： 全球半导体设备整体规模（十亿美元）22

图 24： 2024年全球半导体设备（新设备）厂商市场份额24

图 25： 全球半导体二手/翻新设备市场主要厂商份额25

图 26： 全球半导体制造环节市场规模（亿美元）26

图 27： 全球半导体晶圆代工及IDM企业份额27

图 28： 全球EFEM产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）&（台）28

图 29： 全球EFEM产量、需求量及发展趋势（2020-2031）&（台）28

图 30： 全球主要地区EFEM产量（2020 VS 2024 VS 2031）&（台）29

图 31： 全球主要地区EFEM产量市场份额（2020-2031）31

图 32： 中国EFEM产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）&（台）32

图 33： 中国EFEM产量、市场需求量及发展趋势（2020-2031）&（台）32

图 34： 全球EFEM市场销售额及增长率:（2020-2031）&（百万美元）33

图 35： 全球市场EFEM市场规模：2020 VS 2024 VS 2031（百万美元）33

图 36： 全球市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）34

图 37： 全球市场EFEM价格趋势（2020-2031）&（千美元/台）34

图 38： 2024年全球市场主要厂商EFEM销量市场份额38

图 39： 2024年全球市场主要厂商EFEM收入市场份额41

图 40： 2024年全球前五大生产商EFEM市场份额50

图 41： 全球主要地区EFEM销售收入（2020 VS 2024 VS 2031）&（百万美元）53

图 42： 全球主要地区EFEM销售收入市场份额（2020 VS 2024）55

图 43： 北美市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）58

图 44： 北美市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）58

图 45： 欧洲市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）59

图 46： 欧洲市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）59

图 47： 中国市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）60

图 48： 中国市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）60

图 49： 日本市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）61

图 50： 日本市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）61

图 51： 东南亚市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）62

图 52： 东南亚市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）62

图 53： 韩国市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）63

图 54： 韩国市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）63

图 55： 中国台湾市场EFEM销量及增长率（2020-2031）&（台）64

图 56： 中国台湾市场EFEM收入及增长率（2020-2031）&（百万美元）64

图 57： 全球不同产品类型EFEM价格走势（2020-2031）&（千美元/台）155

图 58： 全球不同应用EFEM价格走势（2020-2031）&（千美元/台）160

图 59： EFEM产业链161

图 60： 关键采访目标180

图 61： 自下而上及自上而下验证181

图 62： 资料三角测定182